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成果完成人：王永超 居炎鵬 趙澤良 仝紅巖 王留土 鄭海強(qiáng) 史豪杰 陳耘田 郭利樂 劉占軍 李偉
第一完成單位：河南東微電子材料有限公司
成果簡(jiǎn)介：本發(fā)明提供了一種氧化鎂靶材背板的氧化鋁涂層制備方法,步驟包括：將氧化鎂靶材濺射面、背板非噴涂面均用耐高溫布包裹保護(hù);清洗噴涂的部位;對(duì)噴涂部位進(jìn)行噴砂處理;再次清洗噴涂部位;等離子噴涂工藝進(jìn)行氧化鋁噴涂;氧化鋁涂層進(jìn)行磨削拋光處理。本發(fā)明的氧化鋁涂層能在磁控濺射中保護(hù)氧化鎂靶材和背板,能有效避免焊接層料因發(fā)熱而受損影響磁控濺射,延長(zhǎng)氧化鎂靶材使用壽命,對(duì)降低鍍膜不良率,提高成膜質(zhì)量起著至關(guān)重要作用。
成果類別：應(yīng)用技術(shù)
評(píng)論區(qū)
